高温环境服役器件(如航空发动机刷式密封圈)的表面摩擦磨损涂层防护是提高其服役性能稳定性和延长使用寿命的关键。近年来，高熵合金涂层因具有优异的综合性能成为表面防护研究热点。本文首先通过调整拼靶磁控溅射Mo靶厚度和数量获得不同Mo含量的VAlTiCrMo_x(x=0, 0.6和1.6)涂层，对比研究了700 ℃下含Mo高熵合金涂层的高温摩擦磨损性能。摩擦试验表明，经过一段时间的磨合，VAlTiCrMo_1.6涂层在700 ℃时的摩擦系数能降低到一个较低的值(约0.35)，磨损率相较VAlTiCr涂层下降一个数量级。对VAlTiCrMo_1.6涂层预氧化，首次揭示了Al₂(MoO₄)₃复合氧化物高温润滑性能，从成分、热和力的角度明确阐明了高温下VAlTiCr基高熵合金涂层的摩擦学机制。随后，通过用W替换VAlTiCrMo涂层中Al，制备VTiCrMoW多层涂层，700 ℃下其摩擦系数低于0.2，实现高温条件下高熵合金涂层低摩擦系数和低磨损率的平衡，为高温器件表面摩擦磨损防护提供了新的思路。

高熵合金涂层；热稳定性；减摩抗磨；润滑机制