TiAlTaN/TiAlBN多层涂层的结构、力学和热性能的研究
编号：141
稿件编号：189 访问权限：仅限参会人
更新：2022-09-20 14:12:28 浏览：896次
口头报告
报告开始：2023年04月23日 14:30 （Asia/Shanghai）
报告时间：15min
所在会议：[B1] 薄膜科技论坛一 » [B1-2] 下午场
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摘要
多元合金化和多层结构构建是改善TiAlN涂层性能的有效途径。本工作采用阴极弧蒸发技术制备了Ti0.34Al0.48Ta0.18N、Ti0.42Al0.54B0.04N单层和Ti0.34Al0.48Ta0.18N/Ti0.42Al0.54B0.04N多层涂层，并对其结构、力学和热性能进行了研究。 Ti0.34Al0.48Ta0.18N涂层为单相立方结构，硬度为32.4 ± 0.9 GPa；Ti0.42Al0.54B0.04N涂层为立方和六方的两相结构，硬度为32.7 ± 0.9 GPa；具有共格界面的Ti0.34Al0.48Ta0.18N/ Ti0.42Al0.54B0.04N多层涂层为单相立方结构，硬度为38.2 ± 0.9 GPa。Ti0.34Al0.48Ta0.18N、Ti0.42Al0.54B0.04N和Ti0.34Al0.48Ta0.18N/ Ti0.42Al0.54B0.04N涂层在退火过程中因调幅分解而呈现时效硬化效应，且均在900 °C退火后达到硬度峰值，分别为35.0 ± 0.6 GPa、37.1 ± 0.7 GPa和40.0 ± 0.9 GPa。此外，由于Ta、B元素的共同作用，多层涂层的抗氧化性优于单层涂层；在950 °C氧化10小时，Ti0.42Al0.54B0.04N单层涂层已经被完全氧化， Ti0.34Al0.48Ta0.18N和Ti0.34Al0.48Ta0.18N/Ti0.42Al0.54B0.04N涂层的氧化层厚度分别为~2.1和~1.3 mm。
关键字
TiAlTaN/TiAlBN,多层涂层,硬度,热稳定性,抗氧化性
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