航空航天、石化等领域的苛刻服役环境对机械运动关键部件表面处理技术与延寿方法提出更高的需求，例如在轴承滚道、齿轮、花键的啮合面和管筒的内表面的处理技术是急需要解决的问题。本文基于空心阴极放电原理，提出了新的异形件表面全方位快速沉积DLC薄膜技术。该技术成功应用于齿轮、轴承、活塞环、刀具等异形件表面DLC薄膜的均匀沉积，为异形件表面防护提供了一种新策略；将全方位快速沉积技术应用于各种材质的管件（铸铁、不锈钢、铝合金等）、各种形状的管件（直管、弯管、U型管等）内表面防腐耐磨一体化DLC薄膜的沉积，并通过系统研究，拓宽了该技术的工艺窗口，掌握了调控DLC薄膜结构、工艺、性能的策略；此外，通过结构设计、掺杂以及工艺优化，实现了DLC薄膜在超疏水、耐腐蚀（海洋腐蚀、人体体液腐蚀）以及生物相容性等方面的功能化。

空心阴极放电；复杂异形件；全方位沉积；DLC薄膜；功能化