双极高能脉冲磁控溅射TiAlN薄膜及冲击性能研究
编号：153
稿件编号：178 访问权限：仅限参会人
更新：2023-04-10 18:21:15
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口头报告
报告开始：2023年04月23日 18:00 （Asia/Shanghai）
报告时间：15min
所在会议：[B2] 薄膜科技论坛二 [B2-2] 下午场
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摘要
通过高能脉冲磁控溅射技术制备了不同C含量的TiAlCN涂层，并利用纳米压痕及冲蚀实验装置评价了涂层的力学性能和抗冲蚀性能。发现随着碳含量的增加，涂层的硬度呈现先增加后减小的趋势，主要体现出固溶C到纳米复合C到析出非晶碳的相转变过程，纳米复合结构的涂层具有最高的硬度及弹性模量，在冲蚀实验中，TiAlNC涂层在90度条件下的复合结构具有优异的耐冲蚀性，归功于纳米复合结构引起的复杂晶界，这有利于增加薄膜受冲蚀后抑制裂纹萌生及阻碍晶间裂纹扩展，对压痕的截面裂纹分析，发现主要以横向裂纹扩展交错引起的表层脱落为主要损伤机制，并未发现贯穿涂层厚度的纵向裂纹。
关键字
碳含量,高能脉冲,TiAlCN,抗冲蚀
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