摘要：元素掺杂作为改善CrAlN涂层性能的方式之一，已受到广泛应用。本研究探讨了B、Si共掺杂对CrAlN涂层微结构、力学性能、热稳定性和抗氧化性的影响。Cr_0.42Al_0.58N和Cr_0.37Al_0.59B_0.02Si_0.02N涂层为单相立方结构，其硬度分别为30.2 ± 0.7 GPa和32.5 ± 1.1 GPa；而Cr_0.35Al_0.58B_0.03Si_0.04N涂层为立方和六方的两相结构，其硬度略微降低至31.6 ± 0.7 GPa。相比于Cr_0.42Al_0.58N涂层，Cr_0.37Al_0.59B_0.02Si_0.02N在退火过程中的热分解过程受到抑制，其Cr-N键的分解和w-AlN的析出均偏向更高的温度；而Cr_0.35Al_0.58B_0.03Si_0.04N涂层的热分解过程并没有得到明显改善。B和Si的掺杂提高了涂层抗氧化性，在1100 ℃下氧化15小时后，Cr_0.42Al_0.58N氧化层厚度为~2.8 μm，而Cr_0.37Al_0.59B_0.02Si_0.02N和Cr_0.35Al_0.58B_0.03Si_0.04N涂层的氧化层厚度仅分别为~1.0和~1.2 μm。
 

CrAlBSiN；硬度；热稳定性；抗氧化性